Reinheidseisen: Grade-2 cleanliness ASML is leidend

Reinheidseisen GRADE-2 (ook genoemd: GRADE-2 cleanliness) is een door elke producent verschillende, gespecificeerde standaard om de reinheidseisen bij de aflevering van vacuümproducten te omschrijven.

In de GRADE-2 Cleanliness richtlijnen worden het maximum aantal stofdeeltjes beschreven die zich op het oppervlak van het eindproduct mogen bevinden. In Nederland zijn de ASML cleanliness grades bekend. GRADE-2-richtlijnen omschrijven duidelijk wat het maximum ontgassingspercentage in vacuüm mag zijn. 

Er zijn verschillende staalsoorten die moeten voldoen aan het criterium van de lage ontgassing. Bijvoorbeeld bij producten voor hoge of ultrahoge vacuümtoepassing. De ontgassing wordt gemeten door een Residual Gas Analyzes meter (RGA; residu gas analyse). Het ontgassingspercentage wordt gedefinieerd in water (H20) en in vluchtige en niet-vluchtige koolwaterstoffen.  

De ASML-richtlijnen en reinheidseisen zijn bij Nefratech EDM-Center leidend bij de realisatie van elk product.

Vragen over reinheidseisen? 

Heeft u vragen over reinheidseisen – de GRADE 2-Cleanliness – en wat Nefratech EDM-Center voor u kan betekenen? Neem dan contact op met Sven Stoffelen. 

Wat mag u van Nefratech EDM-Center verwachten? 

U mag van ons verwachten dat wij toegewijd zijn aan het produceren en leveren van producten volgens uw specifieke, aangeleverde reinheidseisen bij zowel fabricage, assemblage als bij het verpakken. 

Algemene richtlijnen  

Tijdens alle handelingen gedurende het productieproces, het assembleren en het verpakken worden alle vormen van vervuiling vermeden. Medewerkers dragen synthetische handschoenen om vingerafdrukken te voorkomen. Na elke handeling worden deze handschoenen vervangen. 

De machines en alle gebruikte gereedschappen moeten vrij zijn van vreemde materialen/metalen voordat een nieuw productieproces van start gaat. 

Residu afkomstig van eerdere producties moet worden verwijderd, voordat met een nieuw product wordt begonnen. Residu afkomstig van het productieproces (vloeistoffen en metaaldeeltjes) moeten onmiddellijk worden verwijderd tussen de procesfasen. 

 

Onderhoud & reiniging

Tussentijds reinigen moet worden zo snel mogelijk worden uitgevoerd (wet-in-wet) en na elke productiestap, om te voorkomen dat vuil indroogt en/of smet. Machines worden gereinigd met speciale middelen en schoon water. Drogen gebeurt met behulp van N2 of schoon, olievrij Clean Dry Air (CDA). 

De machine wordt onderhouden met koel- en smeermiddelen die een lage PH-waarde hebben. Een hoge PH-waarde corrodeert het productoppervlak snel en dienen dus direct verwijderd te worden door middel van spoelen met water.

Onderhoudsproducten moeten vrij zijn van zwavel en siliconen. Er mogen geen sporen van machinevloeistoffen gedetecteerd worden tijdens de laatste fase via RGA (Residual Gas Analysis). De maximale levensduur en temperatuur van de vloeistoffen mogen beiden niet worden overschreden.

Vloeistoffen dienen regelmatig ververst te worden om onopgeloste middelen/delen te verwijderen uit de vloeistof. Machineolie mag niet in het koelwater terechtkomen.  

Lees meer over het doel van reinheidseisen.